| Статус: | действующий (Введен впервые) |
|---|
| Обозначение: | ГОСТ Р 8.636-2007 |
|---|
| Название русское: | ГСИ. Микроскопы электронные растровые. Методика калибровки |
|---|
| Дата актуализации текста: | 01.01.2009 |
|---|
| Дата добавления в базу: | 29.04.2009 |
|---|
| Дата введения: | 2008-08-01 |
|---|
| Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума"
МФТИ (ГУ) |
|---|
| Утверждён в: | Ростехрегулирование (20.11.2007) |
|---|
| Опубликован в: | Стандартинформ № 2008 |
|---|
| Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их калибровки с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629. |
|---|
| Оглавление: | 1 Область применения
2 Нормативные ссылки
3 Термины и определения
4 Технические требования
5 Требования к квалификации калибровщиков
6 Требования по обеспечению безопасности
7 Подготовка к процедуре калибровки
8 Процедура проведения измерений
9 Обработка результатов измерений
10 Оценка неопределенности измерений параметров
11 Оформление результатов калибровки
Библиография |
|---|
| Ключевые слова: | длина рельефные меры нанометрового диапазона методика калибровки растровые электронные микроскопы |
|---|
| Расположен в: | |
|---|
