Статус: | действующий (Введен впервые) |
---|
Обозначение: | ГОСТ 8.593-2009 |
---|
Название русское: | ГСИ. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки |
---|
Дата актуализации текста: | 17.06.2011 |
---|
Дата добавления в базу: | 17.06.2011 |
---|
Дата введения: | 2010-11-01 |
---|
Разработан в: | ОАО "Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума" МФТИ (ГУ) ФГУ "Российский научный центр "Курчатовский институт" |
---|
Утверждён в: | Ростехрегулирование (05.04.2010) |
---|
Опубликован в: | Стандартинформ № 2010 |
---|
Область и условия применения: | Настоящий стандарт распространяется на сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10-9 до 10-6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592. |
---|
Оглавление: | 1 Область применения 2 Нормативные ссылки 3 Термины и определения 4 Операции и средства поверки 5 Требования к квалификации поверителей 6 Требования безопасности 7 Условия поверки и подготовка к ней 8 Проведение поверки 9 Обработка результатов измерений 10 Оформление результатов поверки |
---|
Ключевые слова: | длина методика поверки рельефные меры нанометрового диапазона сканирующие зондовые атомно-силовые микроскопы |
---|
Расположен в: | |
---|