16 |
ГОСТ 25196-82 |
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования |
01.07.1983 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements Область применения: Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2760-80ГОСТ 24786-81 |
17 |
ГОСТ 25197-82 |
Оборудование вакуумное. Клапаны прямые и угловые вакуумные. Установочные размеры |
01.07.1983 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum equipment. Direct and angle vacuum valves. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на прямые и угловые клапаны с фланцевыми соединениями, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры для клапанов с условными проходами от 10 до 400 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2761-80ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81 |
18 |
ГОСТ 25198-82 |
Оборудование вакуумное. Соединения вакуумных трубопроводов. Установочные размеры |
01.07.1983 |
утратил силу в РФ |
| Англ. название: Vacuum equipment. Connections of vacuum pipe-lines. Mounting dimensions Область применения: Настоящий стандарт распространяется на соединения вакуумных трубопроводов (колена, тройники, крестовины), применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие в диапазоне давлений от 10 в ст. 5 до 10 в ст. минус 5 Па, и устанавливает присоединительные и установочные размеры соединений вакуумных трубопроводов с условными проходами от 10 до 650 мм ряда R5 Нормативные ссылки: СТ СЭВ 2762-80ГОСТ Р ИСО 9803-1-2013ГОСТ 8032-84;ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;СТ СЭВ 298-76 |
19 |
ГОСТ 25662-83 |
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний |
01.01.1984 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum equipment. Diffusion vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций Нормативные ссылки: Утратил силу на территории РФ в части измерения критического давления на выходе, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54108-2010ГОСТ Р 54108-2010ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85;СТ СЭВ 3407-81 |
20 |
ГОСТ 25663-83 |
Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний |
01.01.1984 |
заменён |
| Англ. название: Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.2-2023Утратил силу на территории РФ в части измерения предельного остаточного давления, с 01.07.2011 действует ГОСТ Р 54107-2010СТ СЭВ 3409-81ГОСТ Р 54107-2010ГОСТ 5197-85;ГОСТ 26790-85 |
21 |
ГОСТ 26099-84 |
Насосы вакуумные поршневые. Типы и основные параметры |
01.01.1985 |
действующий |
| Англ. название: Reciprocating vacuum pumps. Types and basic parameters Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные поршневые насосы с водяным охлаждением, предназначенные для откачки воздуха охлаждением, предназначенные для откачки воздуха и неагрессивных газов, предварительно очищенных от капельной влаги и механических примесей |
22 |
ГОСТ 32974.1-2016 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения |
01.01.2018 |
заменён |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 1. General description Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, степени сжатия, измерения базового и наибольшего выпускного давлений Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.1-2023ISO 21360-1:2012ГОСТ ИСО/МЭК 17025-2009 |
23 |
ГОСТ 32974.1-2023 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 1. Общие положения |
01.12.2023 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1. General description Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы и устанавливает три различных метода определения быстроты действия, по одному методу измерения базового давления, степени сжатия и наибольшего выпускного давления Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.1-2016ISО 21360-1:2020ГОСТ ISO/IEC 17025 |
24 |
ГОСТ 32974.2-2023 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия |
01.12.2023 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на вакуумные насосы объемного действия и устанавливает методы измерения быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с базовым давлением менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления, приведенные в ГОСТ 32974.1. Настоящий стандарт применяют при проведении испытаний других типов насосов, осуществляющих выхлоп газа при атмосферном давлении Нормативные ссылки: ГОСТ 25663-83;ГОСТ 32974-2014ISО 21360-2:2020ГОСТ 32974.1-2023 |
25 |
ГОСТ 32974.3-2023 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 3. Технические характеристики механических бустерных вакуумных насосов |
01.12.2023 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 3. Specific parameters for mechanical booster vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт устанавливает методы и требования для измерения максимально допустимого перепада давления, эффективной степени сжатия, степени сжатия при нулевой производительности и перепада давления в перепускном клапане механических бустерных вакуумных насосов. Требования настоящего стандарта распространяются на механические бустерные вакуумные насосы, используемые для среднего или низкого вакуума, включая механические бустерные вакуумные насосы с газовым охлаждением и системы с несколькими механическими бустерными вакуумными насосами Нормативные ссылки: ISО 21360-3:2019ГОСТ 32974.1;ГОСТ 32974.2;ГОСТ ISO/IEC 17025 |
26 |
ГОСТ 32974.4-2023 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 4. Турбомолекулярные вакуумные насосы |
01.12.2023 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum pump performance. Part 4. Turbomolecular vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт совместно с ГОСТ 32974.1 устанавливает методы измерения характеристик турбомолекулярных вакуумных насосов, распространяется на все типы и размеры турбомолекулярных вакуумных насосов: - с механическими или магнитными подшипниками; - с или без дополнительной(ых) молекулярной(ых) ступени(ей) или других откачных ступеней на валу; - c одним или несколькими впускными отверстиями Нормативные ссылки: ГОСТ 33518-2015ISО 21360-4:2018ГОСТ 32974.1-2023 |
27 |
ГОСТ 32974-2014 |
Вакуумная технология. Стандартные методы измерения характеристик вакуумных насосов. Часть 2. Вакуумные насосы объемного действия |
01.09.2015 |
заменён |
| Англ. название: Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 2. Positive displacement vacuum pumps Область применения: Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия. Стандарт устанавливает требования к методикам измерений быстроты действия, базового давления, наибольшего давления паров воды, потребляемой мощности и минимальной температуры запуска насосов объемного действия, которые осуществляют выхлоп газа при атмосферном давлении, с предельным давлением обычно менее 10 кПа. В настоящем стандарте необходимо использовать определения быстроты действия и базового давления. Настоящий стандарт также применяется при проведении испытаний других типов насосов, выпускающих газ при атмосферном давлении Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.2-2023ISO 21360-2:2012 |
28 |
ГОСТ 33517-2015 |
Вакуумная технология. Угловые клапаны. Размеры и условия подключения для пневматических приводов |
01.01.2017 |
действующий |
| Область применения: Настоящий стандарт устанавливает размеры угловых клапанов, совместимых с установочными размерами фланцев, приведенных в [1] и [2] Нормативные ссылки: ISO 21358:2007ГОСТ 24934-81;ГОСТ 24935-81;ГОСТ ISO 3669-2014 |
29 |
ГОСТ 33518-2015 |
Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение рабочих характеристик |
01.01.2017 |
заменён |
| Область применения: Настоящий стандарт определяет методы измерения рабочих характеристик турбомолекулярных насосов. Он применяется для всех типоразмеров турбомолекулярных насосов с механическими или магнитными подшипниками; и с или без дополнительной молекулярной ступени Нормативные ссылки: ГОСТ 32974.4-2023ISO 5302:2003ГОСТ 5197-85 |
30 |
ГОСТ 33866-2016 |
Вакуумная технология. Турбомолекулярные насосы. Измерение крутящего момента для быстрого выключения |
01.01.2018 |
действующий |
| Англ. название: Vacuum technology. Turbomolecular pumps. Measurement of rapid shutdown torque Область применения: Настоящий стандарт распространяется на турбомолекулярные и молекулярные насосы и устанавливает метод измерения крутящего момента для быстрого выключения (разрушающего крутящего момента) насосов, в которых газовый импульс создается наклонными пластинами с осевым направлением потока и/или спиральными каналами Нормативные ссылки: ISO 27892:2010 |